北方华创原子层刻蚀设备为高端装备再添新秀

    本报讯 近日，北方华创自主研发的原子层刻蚀（Atomic LayerEtching，ALE）设备进入行业知名客户生产线，为国产设备在先进制造领域再添新秀。

    传统等离子刻蚀设备在进入14nm以下技术代，以及其它有低损伤要求的刻蚀领域以后，面临诸如刻蚀损伤、负载效应以及控制精度不够等一系列挑战。与传统等离子刻蚀设备不同，原子层刻蚀设备采用逐层刻蚀技术，可通过控制循环次数来精确控制刻蚀速率和刻蚀深度。

    原子层刻蚀设备可以广泛应用于14nm以下集成电路、硅基半导体器件、III-V族化合物器件、石墨烯等二维材料器件的制造工艺。