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芯源微：臭氧水方案在经济性和环保性方面具有一定优势

2026-07-09 20:32  来源：证券日报网 

    证券日报网讯  7月9日，芯源微在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧水方案在经济性和环保性方面具有一定优势，但清洗方案的选择需要根据具体应用场景、工艺节点、客户需求等方面综合确定。

（编辑 任世碧）

-证券日报网
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