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华源控股：分子泵是获取和维持高真空、超高真空环境的核心设备

2026-06-08 20:52 来源：证券日报网

证券日报网6月8日讯，华源控股在接受调研者提问时表示，分子泵是获取和维持高真空、超高真空环境的核心设备，被誉为高端制造的“真空心脏”。在半导体薄膜沉积、光刻等关键工序有重要作用，对制程精度与产品良率起着决定性作用，在相关半导体设备工艺腔中基本是一个腔体配套一台分子泵。全球分子泵市场目前呈现高度集中的竞争态势，CR5市占率超50%，德国普发、英国爱德华、日本荏原等欧美日企业长期占据主导地位。中国作为全球半导体及电子产品制造核心基地，分子泵需求持续旺盛且增速领跑全球，但受海外品牌长期技术积淀与市场深耕影响，国外优势企业在国内市场仍占据绝对领先份额，国内分子泵市场留给本土企业的发展空间极为广阔。

（编辑丛可心）

-证券日报网

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