恒运昌：公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及真空镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节

    证券日报网5月26日讯 ，恒运昌在接受调研者提问时表示，公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及真空镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证周期长。等离子体射频电源系统为半导体设备的核心零部件之一，与产品良率直接相关。等离子体射频电源系统要想达到高功率、高效率，其内部电路、结构和算法设计复杂，且下游客户在实际量产应用时，对于频率精度、响应时间、匹配精度、匹配时间有着更为严苛的要求，这需要等离子体射频电源系统供应商具有丰富的技术和经验积累，并配合客户长期、共同不断调试，且一旦产品确定后不会轻易更改。

（编辑 楚丽君）