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恒运昌：公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商

2026-03-17 21:05 来源：证券日报网

证券日报网3月17日讯，恒运昌在接受调研者提问时表示，公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司主要产品等离子体射频电源系统（等离子体射频电源及匹配器）被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，且直接决定设备工艺能力、产品良率。历经十年，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统，成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局，填补国内空白。公司研发的最新一代等离子体射频电源系统Cedar系列产品，锚定更先进制程前沿领域，目前处于验证阶段。

（编辑姚尧）

-证券日报网

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