停牌！688037，筹划控制权变更

    本报记者 李勇

    3月5日晚间，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”，688037）披露的公告显示，公司拟筹划控制权变更事项，公司股票自2025年3月6日起停牌，预计停牌时间不超过2个交易日。    

    芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所发起创立的国家级高新技术企业，专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售。

    历经20余年的发展，芯源微目前已形成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。

    涂胶显影机是芯片制造过程中唯一与光刻机联机作业的核心设备。作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，芯源微在光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、精细化显影技术、高产能设备架构及机械手优化调度技术、内部微环境精确控制技术等多项关键技术上已达到国际先进水平，现已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号设备。

    值得关注的是，长期以来，芯源微一直处于无实际控制人状态。2019年登陆资本市场后，公司原第一大股东沈阳先进制造技术产业有限公司（以下简称“先进制造”）曾多次通过询价转让的方式转让其所持有的芯源微股权，并在2024年1月份失去第一大股东地位。当前，芯源微前三大股东分别为辽宁科发实业有限公司、先进制造和沈阳中科天盛自动化技术有限公司，三个股东持股比例分别为10.61%、9.49%和8.41%。芯源微目前仍处于无实控人状态。

（编辑 孙倩）