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汇成真空：公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术

2026-06-17 21:23 来源：证券日报网

证券日报网讯 6月17日，汇成真空在互动平台回答投资者提问时表示，公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术，以及射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合，自动升降传输基材，支持多个阴极同时溅射，镀制多层膜，自动处理工艺并记录数据，有关经营情况可关注公司定期报告。

（编辑姚尧）

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