国仪量子推出世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜

    本报记者 黄群

    11月24日，国仪量子召开电子显微镜新品发布会。公司推出世界首台分辨率达到2.5纳米的钨灯丝扫描电子显微镜，突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。

    长期以来，钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前，难以实现用户对更高分辨率的追求。作为一种应用广泛的高端科学仪器，我国扫描电镜长期以来被进口品牌垄断。

    国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关，开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10kV高压管（高压隧道技术）的解决方案，并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。SEM3300在20kV分辨率达到2.5nm，比普通钨灯丝电镜提高了16%，成为目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜。同时，作为钨灯丝电镜“王者”，SEM3300在任意电压下都表现出卓尔不群的分辨力——在3kV分辨率达到4nm，相比普通钨灯丝电镜提高了2倍；在1kV分辨率达到5nm，相比普通钨灯丝电镜提高了3倍——满足更多材料的分析测试需求。

    国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM2000和场发射扫描电镜SEM4000。钨灯丝扫描电镜SEM2000是一款操作不挑人，简约不简单的产品，以“人人都敢用，人人都能用”为目标打造。场发射扫描电镜SEM4000是一款针对分析型用户需求的全新产品，具有电子束流大、分析速度快的特点、最大超过200nA的电子束流，且束流大小连续可调，有利于选择最合适的成像和能谱条件。

    当下，全球都在强调制造业的重要性，我国更是将制造业转型升级作为长期的发展战略。自2019年推出首台扫描电子显微镜以来，国仪量子不断精研行业痛点，深耕核心技术。扫描电镜作为一种强大的分析仪器，在提升制造业产品创新能力与产品质量上将大有作为。

（编辑 何帆）