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国林科技:半导体专用臭氧系统设备能够产生高浓度、超纯净的臭氧

2026-02-02 17:43  来源:证券日报网 

    证券日报网讯  2月2日,国林科技在互动平台回答投资者提问时表示,公司的半导体专用臭氧系统设备能够产生高浓度、超纯净的臭氧,臭氧在电子工业领域被广泛用于形成CVD及ALD薄膜、氧化物生长等工艺环节。在3D NAND存储芯片结构中,臭氧因其高氧化性、清洁效率和环保特性,能够满足半导体制造对精度、缺陷控制和材料兼容性的严苛要求,从而实现纳米级均匀氧化层的形成。

(编辑 王雪儿)

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