恒运昌：公司引进用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件

    证券日报网7月6日讯 ，恒运昌在接受调研者提问时表示，公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子体直流电源等核心零部件。公司引进产品和自研产品一同协作，共同为下游客户提供等离子体工艺解决方案。（1）真空泵：在半导体、工业镀膜等工艺中，将硅片或其他材料放入反应腔室后，需要使反应腔获得真空环境。真空泵是反应腔获取真空环境的核心零部件，用于在反应腔中产生和维持真空环境。（2）质量流量计：在反应腔获取真空环境后，需要向反应腔室通入工艺气体，工艺气体被等离子体射频电源电离产生等离子体。此时需要通过质量流量计精确计量和输送。质量流量计是反应腔供气系统的核心零部件，用于对气体等进行质量流量的测量和控制。（3）等离子体直流电源：公司引进的等离子体直流电源主要用于真空镀膜装备，即在反应腔内使用等离子体直流电源对靶材施加电压，使气体离子化，产生等离子体。这些离子在电场的作用下加速并轰击靶材，溅射出原子或分子，最终沉积在基材上，完成镀膜。

（编辑 姚尧）