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恒运昌：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律

2026-03-11 21:21 来源：证券日报网

证券日报网3月11日讯，恒运昌在接受调研者提问时表示，半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得到半导体设备商及晶圆厂的双重验证，需要经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个验证环节，验证程序复杂、验证难度大、验证周期长。公司早在2018年与拓荆科技率先开展等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，历经2年多的合作验证，产品于2020年下半年开始逐步批量交付。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商均加速核心零部件国产化，所有半导体装备商的验证周期都在同步压缩，同一客户其他系列产品的验证时间也相应减少，公司产品的整体认证周期也逐步缩短。

（编辑袁冠琳）

-证券日报网

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