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集成电路向高集成度、低成本、低功耗方向持续发展,催生了对芯片封装技术的更高要求。近年来,先进封装技术获得快速发展,Fan-out(扇出型)晶圆级封装成为热点技术。
北方华创科技集团股份有限公司(证券简称:北方华创,证券代码:002371)根据Fan-out晶圆级封装工艺技术要求,针对性地开展相关先进封装设备自主研发,率先实现等离子去胶机、金属薄膜PVD(物理气相沉积)、PI(聚酰亚胺)胶固化系统等设备的国产化,相继进入国内主流先进封装生产线。
目前,北方华创已有刻蚀机、PVD、立式炉、清洗机等多款产品应用于先进封装领域。
(CIS)
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