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恒运昌：等离子体射频电源系统的应用较为广泛

2026-06-24 21:12 来源：证券日报网

证券日报网6月24日讯，恒运昌在接受调研者提问时表示，等离子体射频电源系统的应用较为广泛，除了半导体、光伏和显示面板等主要的应用领域，还包括精密光学领域、科研领域、航天领域、医疗等其他领域。公司的等离子体射频电源系统主要被广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，以及光伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子体清洗等工业生产环节。

（编辑丛可心）

-证券日报网

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