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恒运昌：截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态

2026-06-24 21:12 来源：证券日报网

证券日报网6月24日讯，恒运昌在接受调研者提问时表示，截至2025年年底，公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。截至2025年年底，公司对MFC MEMES传感器的研发已处于完成初样流片及搭载测试平台阶段。结合公司未来发展规划，在产品布局方面，公司将采取双轮驱动发展策略，通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，公司未来将借助外部并购等战略举措，以进一步增强等离子体工艺核心零部件的供应能力，为客户提供一站式的产品和服务，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

（编辑丛可心）

-证券日报网

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