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恒运昌：公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商

2026-02-26 19:32 来源：证券日报网

证券日报网讯 2月26日，恒运昌在互动平台回答投资者提问时表示，公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，同时还为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修等技术服务。公司还将持续积极拓展半导体、光伏、显示面板、精密光学及其他领域优质的客户，不断加强公司在各领域的发展并扩大业务规模。

（编辑丛可心）

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