17年磨一剑 借力科创板芯源微踏上历史新征程

    本报记者 李勇

    “芯源微从2002年创立，17年磨一剑，本次成功登陆资本市场是公司发展的里程碑，也是新长征的开始。公司聚集了一批具备专业素质的高管和核心人员，公司的上市，不仅是对公司以往业绩的肯定，也是公司未来发展的新起点。”芯源微董事长、总经理宗润福在12月3日参与科创板上市网上路演时表示，“上市不是企业的目标，只是发展中的一个过程，就像一个人的成人礼，我觉得肩上的担子更重了，不过我会将压力转化为动力，带领公司进一步发展。”

    芯源微是一家专业从事半导体工艺设备研发生产与服务的企业。公司产品主要用于LED芯片、集成电路等半导体产品的制造，下游客户涵盖华灿光电、澳洋顺昌、乾照光电、东莞中图等国内知名LED芯片制造企业，以及台积电、长电科技、华天科技、晶方科技等国内知名集成电路封测企业。公司主要产品是光刻工序的涂胶显影设备和单片式湿法设备。涂胶显影机与光刻机联机工作，共同保证光刻的线宽和良率，是芯片生产线上必不可少的关键工艺设备。芯源微作为细分市场的龙头企业，是国内同行业中唯一能提供中高端涂胶显影机的企业。

    宗润福介绍到，随着超大规模集成电路的器件特征尺寸不断缩小，集成度不断提高，对刻蚀工艺的控制及其工艺结果的精确度提出了更高的要求。湿法刻蚀已成为现代半导体制造中不可或缺的一道工艺。公司生产的单片式湿法刻蚀机采用可变速摆臂喷洒化学液，同时利用高精度的流量检测和控制技术、多级稳压技术以及在线温度检测及控制技术，对工艺所用的化学品流量、压力及温度等参数进行精准控制以满足多种刻蚀工艺要求，进而有效地提高刻蚀均匀性，降低侧蚀效应；通过分层式反应腔体设计以及内外Cup升降配合阀切换等方式实现药液的分类，可实现在同一腔体中喷洒多种化学液，节约化学液。目前广泛应用于集成电路后道先进封装制程中的湿法刻蚀环节。

    据宗润福介绍，随着公司经营规模的扩大，公司最近三年的综合毛利分别为6220.63万元、7914.63万元和9762.21万元，综合毛利主要来源于主营业务收入，主营业务毛利占综合毛利比例超过95%，主营业务表现突出。

    芯源微此次拟发行股票数量不超过2100万股，所募集资金将用于高端晶圆处理设备产业化项目和高端晶圆处理设备研发中心项目。公司在披露的公开材料中表示，前道芯片生产线的不断扩张和半导体设备国产化的大趋势，为国产半导体设备企业发展创造了历史性的机遇。通过本次发行，公司将能够解决研发投入的燃眉之急，进一步提升自身在半导体设备领域的技术积累。

    国信证券投资银行事业部执行总经理谭杰伦在与投资者交流时表示，芯源微有一个好的管理层和高素质的员工队伍，经过多年的发展与积累，在优秀的研发技术团队与完善的专业平台、丰富的技术储备、优质的客户资源、较为突出的行业地位、高效的质量管控与服务保障能力、完善的供应链等方面具有突出的竞争优势，具备持续发展的潜力。

（编辑 白宝玉）